삼성전자, ASML 차세대 극자외선 장비 적용 D램 첫 양산 추진

삼성전자가 네덜란드 반도체 노광설비 기업 ASML과 협력해 2028년 첨단 D램 생산에 차세대 노광 장비인 ‘고개구율(High-NA)’ 극자외선(EUV) 노광장비를 적용할 계획이다. 삼성전자가 고개구율 EUV를 실제 D램 양산에 적용하는 것은 처음이다. 또 삼성전자는 ASML이 주도하는 ‘대형 마스크 컨소시엄’에 참여해 차세대 12인치 포토 마스크를 공동 개발한다. 양사가 마스크 표준과 양산 인프라를 함께 준비한다는 취지다.
삼성전자는 삼성전자는 ASML과의 협력 확대를 통해 2028년까지 첨단 D램 제조에 고개구율 EUV 도입을 추진할 계획이라고 8일 밝혔다. 차세대 D램의 미세화 경쟁에 선제적으로 대응하고, 고개구율 EUV의 제조 공정 안정성을 조기 검증해 새로운 노광 기술을 양산 체계에 빠르게 안착시키기 위해서다.
고개구율 EUV 장비는 최선단 로직 공정과 첨단 메모리 제조에 필수적인 장비로 꼽힌다. 현재 0.33 수준인 EUV 개구수를 0.55까지 높여 더 미세한 회로를 구현할 수 있는 차세대 노광기술이다. 해상도가 높아지면서 기존 EUV에서 여러 차례 노광해야 하는 일부 공정을 줄일 수 있어 미세화와 효율화에도 유리하다.
삼성전자는 2025년 3월에 고개구율 EUV 설비를 국내 최초로 반입하는 등 차세대 노광 설비 도입과 관련해 ASML과 긴밀하게 협력 중이다.
또 삼성전자는 ASML이 주도하는 ‘대형 마스크 컨소시엄’에 참여해 차세대 12인치 포토마스크 공동 개발에 나선다. 컨소시엄은 현재 반도체 노광 설비에 사용되는 6인치 포토마스크를 12인치로 전환하기 위한 협의체로, 공동 연구·표준 개발 등의 협력을 진행할 예정이다.
포토마스크는 미세 회로 패턴을 정교하게 새긴 정밀 ‘마스크(틀)’로 노광 설비 내에서 빛을 통해 웨이퍼에 설계된 패턴을 새기는 필수 도구다. 회로를 새기는 정밀도가 반도체 성능과 수율을 결정짓는다.
지난 수십년간 반도체 노광 공정에는 6인치 마스크가 사용돼 왔으나 고개구율 EUV 도입과 함께 12인치 마스크로 전환할 경우 한 번에 넓은 면적의 회로를 웨이퍼에 새길 수 있어 팹 생산성을 높이고 칩 제조 비용을 낮출 수 있다.
전영현 삼성전자 대표이사 부회장은 “인공지능(AI) 시대의 도래는 반도체 산업 패러다임을 바꾸고 있으며 밸류체인 전반에서 기술 혁신의 중요성을 더욱 높이고 있다”며 “삼성전자는 혁신 기술과 강한 파트너십을 바탕으로 파운드리와 메모리를 포함한 첨단 반도체 제조 리더십을 이어가고 ASML과의 협력을 한층 강화함으로써 ‘Next AI’를 위한 기술 기반을 마련해 나갈 것”이라고 밝혔다.
크리스토프 푸케 ASML 최고경영자(CEO)는 “삼성전자는 오랜 기간 ASML의 가장 중요한 혁신 파트너 중 하나로 그동안 현대 반도체 제조의 기반이 되는 기술을 함께 발전시켜 왔다”며 “AI가 이끄는 새로운 시대를 맞이하여 삼성전자와 함께 차세대 반도체 제조를 위한 혁신을 이끌어 가기를 기대한다”고 말했다.
반도체 호황에 따른 국내총생산(GDP) 증가에 힘입어 올해 1인당 국민총소득(GNI)이 4만달러 돌파가 확실시 되고 있다. 2분기 명목 GDP는 1년 전보다 26.4% 증가해 47년 만에 최고 수준을 기록했다.
한국은행이 8일 발표한 ‘2분기 국민소득(잠정)’을 보면, 2분기 명목 GNI는 전년 동기 대비 26.4% 늘어난 것으로 집계됐다. 지난 1분기(17.1%)에 이은 두 자릿수 증가율이다. 전분기 대비로는 8.8% 증가했다.
특히 상반기 명목 GNI는 1년전보다 21.8% 증가해 올해 1인당 GNI는 4만달러 돌파가 확실시된다. 올 한해 명목 GNI가 8.2% 이상 늘어나면 1인당 GNI는 4만달러를 넘어서게 된다. GNI는 GDP 영향을 크게 받기 때문에 하반기 GNI가 대폭 역성장할 가능성은 낮은 상황이다.
김화용 한은 국민소득부장은 이날 설명회에서 “올해 남은 기간 예상치 못한 충격이 없다면, 그리고 연간으로 명목 GNI 증가율이 현재 수준을 유지하고 환율 안정세가 지속된다면 미 달러화 기준 1인당 GNI는 4만달러를 넘어설 가능성이 매우 커졌다”고 말했다.
한국의 1인당 GNI는 2014년 처음 3만달러를 넘어선 이후 지난해까지 12년 연속 3만달러 선에 머물러 있다. 지난해엔 원화 기준으로 전년보다 4.6% 늘었지만 원화 가치가 하락(원·달러 환율 상승)하며 달러 기준으로는 0.3% 증가하는 데 그쳤다. 지난해 1인당 명목 GNI는 3만6963달러였다.
지난해 기준 인구 5000만명 이상 국가 중 1인당 GNI가 4만달러를 넘는 나라는 미국·독일·영국·프랑스·이탈리아 등 5개국이다. 한국이 올해 4만달러를 넘으면 ‘국민소득 4만달러·인구 5000만명’ 국가 대열에 합류하게 된다. 일본은 2022년 4만달러 아래로 떨어진 이후 3만달러 선에 머물고 있다.
명목 GNI가 급증한 것은 명목 GDP가 크게 성장한 영향이다.
2분기 명목 GDP는 전년 동기 대비 26.4%(173조2000억원) 급증했다. 1979년 3분기(27.7%) 이후 47년여 만에 최대 증가 폭이다. 전 분기보다 9.2% 증가했다.
제조업, 금융 및 보험업을 중심으로 총영업잉여(일종의 영업이익)가 48.2% 증가한 영향이 컸다. 2010년 통계 공표 후 역대 최고 증가율이다. 2분기 반도체 수출 호조세가 이어졌고 증시도 호황을 보인 데 따른 결과로 풀이된다.
GDP 디플레이터가 1년 전보다 21.9% 상승한 점도 명목 GDP가 늘어난 요인으로 작용했다. GDP 디플레이터는 국가 경제 전체의 물가 상승률을 나타내는 지표로, 반도체 등의 가격이 큰 폭 오른 점이 반영된다. 2분기 한국의 생산량이 늘어난 동시에 물품·서비스 가격도 상승해 명목 GDP가 크게 증가한 것이다.
2분기 실질 GDP 상승률(전분기 대비)은 7월 발표한 속보치와 동일한 0.6%를 기록했다.
모든 경제 주체가 벌어들인 소득 중 저축한 비율인 총저축률은 2분기에 45.6%로 나타났다. 전분기 대비 3.9%포인트 오른 수치로, 1970년 통계 집계 이래 역대 최고 수준이다. 소비보다 소득이 더 크게 늘어나며 총저축률이 상승했다.
김 부장은 “반도체 이외의 여타 산업 수익성도 개선되고 있다”며 “총영업이익 증가가 정부 소득과 가계 소득 증가로 이어지고, 시차를 두고 민간소비가 증대될 것으로 예상한다”고 말했다.

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